Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5

Рис. 14. Анизотропное (а) и изотропное (б) жидкостное травление эпитаксиального кремния.

Другой травитель для моно- и поликристаллического кремния состоит из этилендиамина и пирокатехина и имеет энергию активации 8 ккал/моль:

2NH2(CH2)2NH2+Si+3((OH)2 (

( 2H2+Si((O2)3+2NH2(CH2)3NH3 (36)
При добавлении к реагентам 1000 ppm (1 ppm=1часть на миллион) ароматического пиразина достигалось увеличение энергии активации до 11 ккал/моль и селективности травления плоскостей (100) и (111) с 10 до 20.
Травление кремния применяется также с диагностическими целями для выявления точечных проколов SiO2. Кремний, легированный бором, травится медленнее нелегированного кремния.
[pic]
Рис. 15. Зависимость угла травления поликремния ( от содержания воды в травителе KOH/спирт/Н2О.
Эффективность сглаживания поверхности поликремния в смеси KOH и спирта зависит от содержания воды в травителе. В безводных спиртах получаются изотропные профили. Степень анизотропии определяется содержанием воды в травители (рис. 15). Изотропные травители для кремния перечислены в табл.
6. Краткие сведения об анизотропных травителях для кремния приведены в табл. 7.

Таблица 5. Изотропное и анизотропное травление кремния.
| | | |
|Травитель |Скорость травления, |Подтравливание |
| |мкм/мин |(мкм/сторону)1) |
| |PS |ES |BS |PS |ES |BS |
|Изотропный2) |3 |4 |4 |1.5d |1.5d |1.5d |
|Изотропный3) |0.8 |0.6 |0.5 |1.0d |1.0d |1.0d |
|Анизотропный4) |0.7 |0.9 |1.1 |(0.1-1.|

Скачали данный реферат: Онисим, Kapralov, Amos, Dora, Капралов, Кичеев, Мариетта, Rjapolov.
Последние просмотренные рефераты на тему: ремонт реферат, отечественная история шпаргалки, реферат статус, возрождение реферат.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки