Разработка сенсора на поверхностно-акустических волнах. Автоматизация измерительной установки
Категория реферата: Рефераты по цифровым устройствам
Теги реферата: курсовые работы скачать бесплатно, курсовая работа по менеджменту
Добавил(а) на сайт: Elpidifor.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 | Следующая страница реферата
где l - среднее расстояние между системами ВШП,
v - скорость распространения поверхностно-акустической волны.
Максимальное акустоэлектрическое взаимодействие систем ВШП имеет место при характеристической частоте [pic], определяемой следующим соотношением:
[pic],
где h - шаг ВШП [З].
Соединение двух ВШП через высокочастотный усилитель (рис. 1) дает возможность данному устройству поддерживать колебательный процесс на резонансной частоте при условии выполнения следующих требований:
набег фаз в кольце получающегося таким образом колебательного контура составляет [pic], где n - целое число;
потери в линии задержки компенсируются усилителем [2].
Область распространения ПАВ между системами ВШП используется в
сенсорных устройствах в качестве чувствительной области. Любое изменение
физических параметров среды (температуры, давления) оказывает влияние на
рабочую частоту ПАВ прибора. Это явление используется в данном типе
датчиков в качестве сенсорного эффекта. В случае применении ПАВ приборов в
качестве химических газовых сенсоров на область распространения
поверхностно-акустической волны наносится чувствительное покрытие, обладающее свойством селективно взаимодействовать с определяемым веществом.
Нанесение покрытия отражается в значительном ослаблении поверхностной волны
и соответствующем уменьшении резонансной частоты прибора. Было показано [2]
что изменение резонансной частоты, обусловленное наличием покрытия на
поверхности распространения поверхностно-акустической волны, описывается
следующим соотношением:
[pic],
где [pic] - сдвиг резонансной частоты за счет изменения чувствительным покрытием скорости поверхностно-акустической волны,
[pic] и [pic] характеристики пьезоэлектрического материала,
[pic] - начальная резонансная частота,
h - толщина чувствительного покрытия,
[pic] - его плотность.
Не трудно заметить, что произведение [pic] - представляет собой массу
покрытия на единицу площади. Таким образом, изменение частоты поверхностно-
акустической волны зависит в первую очередь от двух факторов - массы
единицы площади пленки и механических свойств пьезоэлектрической подложки.
Применение слишком толстых пленок отражается в чрезмерном ослаблении
скорости поверхностно-акустической волны и последующем затухании колебаний.
Было установлено, что наиболее приемлемой является толщина пленки, составляющая (1% от длины волны. В этом случае способность покрытия
адсорбировать определяемые вещества достаточно велика, чтобы обеспечить
хорошую чувствительность. С другой стороны такая толщина покрытия не
приводит к затуханию колебаний.
В результате адсорбции газов чувствительным покрытием изменяются свойства среды распространения поверхностно-акустической волны, а, следовательно, и ее характеристики.
В общем случае, для определения концентрации газов можно измерять
изменение амплитуды, скорости или частоты поверхностно-акустической волны.
Наиболее простым, надежным, а самое главное точным методом является
измерение сдвига частоты. То есть в качестве сенсорного эффекта в данном
типе датчиков используется различие рабочих частот поверхностно-
акустической волны прибора в различных средах.
Некоторые задачи, решаемые ПАВ сенсорами
В работе [6] авторами решена задача классификации ароматов и определения степени свежести пищевых продуктов по запаху с использованием аналитической микросхемы, работающей на принципе измерения скорости поверхностно-акустической волны. Описывается микросистема для исследования запахов и ароматов, основанная на использовании набора пьезоэлектрических резонаторов с покрытиями, селективно сорбирующими пары определяемых соединений из атмосферы. Полученный прибор состоит из восьми резонаторов, колеблющихся с разной частотой в интервале от 380 до 433 МГц и имеющих разные чувствительные покрытия.
Также было исследовано [7] воздействие линейных и разветвленных углеводородов на ПАВ сенсоры с чувствительными покрытиями на основе пленок фторированных полиамидов. В ходе исследования было выявлено, что такие ПАВ сенсоры могут быть использованы для обнаружения линейных и разветвленных углеводородов, так как линейные углеводороды, проникая в пленку, дают изменение массы пленки на два порядка большее, чем соответствующие им разветвленные изомеры, что приводит к изменению частоты.
В работе [8] найден способ и приведена конструкция устройства для обнаружения душистых веществ в воздухе. Устройство представляет собой систему, которая состоит из набора полупроводниковых и ПАВ сенсоров. В статье даны результаты сравнения двух сортов кофе и двух видов духов. Также был проведен анализ составляющих запахов оливкового масла, столового вина, наркотиков (морфин, кокаин и др.), различных взрывчатых веществ, пищевых корковых пробок, тела человека и запаха животных.
В работе [13] рассматривались поверхностно-акустические устройства, покрытого тонким слоем хемоселективного материала. Такие устройства являются высокочувствительными химическими сенсорами для обнаружения и мониторинга паров и газов. Также в данной работе дана оценка ПАВ устройств с различными материалами, использующимися в качестве покрытия и устройств, покрытых различными способами. В процессах описанных в работе исследований применялся новый способ лазерного выбивания с использованием матрицы и пульсирующего лазера. На чувствительную область ПАВ сенсора кроме всего прочего наносился пасcивирующий слой углерода. В работе определены и представлены электрические характеристики и различные параметры устройств для обнаружения различных газов.
В работе [11] представлен сенсор для обнаружения по месту и измерения низких концентраций газообразной ртути. Принцип действия сенсора основан на использовании генератора колебаний ПАВ и двойной линии задержки с золотым покрытием. Газообразная ртуть избирательно реагирует с золотой пленкой, образуя амальгаму. В результате увеличивается масса пленки, которая вызывает уменьшение частоты колебаний. Измерение концентрации газа производится различием отклика сенсора при комнатной температуре и температуре, при которой достигается динамическое равновесие реакция амальгамирования и десорбции. Значение величины равновесия достаточно сильно зависит от концентрации газа. Таким образом, частота генератора колебаний в линии задержки может служить чувствительной мерой концентрации газообразной ртути.
В работе также представлен график зависимости отклика сенсора от концентрации газообразной ртути в диапазоне 10-9. Также проанализированы такие особенности отклика сенсора как форма отклика, величина отклика, время отклика и линейность при 25 0С и 200 0С.
Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: баллов, изложение язык.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 | Следующая страница реферата