Безкорпусная герметизация полупроводниковых приборов
Категория реферата: Рефераты по технологии
Теги реферата: доклад по биологии, реферат по математиці
Добавил(а) на сайт: Ivannikov.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 | Следующая страница реферата
Лак МК-4У –вязкая масса желтого цвета. Связующим веществом является
кремнийорганическая смола , модифицированная полиэфирами и эпоксидными
смолами, а в качестве наполнителя в смолу вводиться слюда мусковит.
Рекомендуемый режим сушки: выдержка 2 ч при 1800С. Удельное объемное
сопротивление при 200С равно 1014 Ом*см. Термостойкость 180-2000С.
Защитный лак ПЭ-518 – терефталевоглицириновой смолы ТФ-4 в
циклогексане; прозрачная жидкость от светло- до темно-жёлтого цвета.
Обладает термостойкостью в диапазоне температур от –60 до +100С. Тангенс
угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц равен 0,04. Удельное объёмное
сопротивление равное в обычных условия 1014 Ом*см, после пребывание во
влажной среде атмосфере в течении 48 часов снижается до 1012 Ом*см.
Применяется для защиты p-nпереходов от воздействия влаги и воздуха.
Защитный лак КО-938В — раствор кремнийорганической смолы и толуола, модифицированный полиэфиром; жидкость коричневого цвета. Перед
употреблением в лак добавляют сиккатив. Содержание сухого остатка равно
50%. Плёнка высыхает при 150 С в течение 30 мин. Адгезионная прочность
8*104 Н/м2. Электрическая прочность при 20 С равна 75 кВ/мм, при 200 С — 40
кВ/мм, а после воздействия влажной атмосферы в течении 48 часов —50 кВ/мм.
Удельное объёмное электрическое сопротивление при 20 С равна 1014 Ом*см, а
при 200 С — 1012 Ом*см. Диэлектрическая проницаемость на частоте 106 Гц
при 20 С равна 4, а тангенс диэлектрических потерь при тех же условиях –
6*10-4 . Применяется для защиты p-n-переходов полупроводниковых приборов, работающих при температурах до 200 С, а также в качестве адгезионного
подслоя для эластичные заливочные компаунды.
Кремнийорганический лак КО-961-п — раствор
полиметилвинилфенолсилоксилазана в толуоле; бесцветная или светло-жёлтая
жидкость без механических примесей. Содержание сухого остатка не привышает
57-63%. Плёнка высыхает при 20 С в течение 60 минут. Электрическая
прочность при 20 С равна 85 кВ/мм, а при 150 С — 5 кВ/мм. Удельное объёмное
сопротивление при 20 С равно 1014 Ом*см, а при 150 С — 1012 Ом*см. Покрытия
обладают хорошей влагостойкостью и высокими диэлектрическими
характеристиками. Тангенс угла диэлектрических потерь – 0,003.
Диэлектрическая проницаемость 4,5. Лак легко воспламеняется: нижний
температурный предел воспламеняемости насыщенных паров в воздухе 8 С, а
верхний 36 С. Предельно допустимая концентрация раров лака в воздухе
составляет 10–20 мг/м3.
Лак сульфон —раствор полисульфонамида на основе изофталеновой кислоты
и 3,3-диаминодифенисульфона в диметилацетамиде или диметилформамиде;
жидкость желтоватого цвета. Содержание сухого остатка не превышает 15%.
Удельное объёмное сопротивление при 20 С равно 1014 Ом*см , при 200 С —
1012 Ом*см, а при 48-часовом воздействии влаги (95%) и 55 С — 1013 Ом*см.
Электрическая прочность при 20 равна 50 кВ/мм. Тангенс угла
диэлектрических потерь на частоте 103 Гц при температуре 20 С равен 0,02, а
диэлектрическая постоянная при тех же условиях – 4. Применяется для защиты
p-n-переходов полупроводниковых приборов, работающих в интервале температур
от –60 до +200 С.
Лак «Пан» — 5%-ный раствор полинитрилоакрилата в диметилформамиде;
прозрачная жидкость жёлтого цвета без механических примесей. Вязкость при
20 С равна 80–150 сСт. Показатель преломления 1,43–1,44.
Эмаль АС–539 —суспензия пигмента свинцового сурика в растворе
эпоксидной смолы, ярко-оранжевого цвета. Разбавляется ксилолом. Вязкость
при 20 С равна 90–100 сСт. Содержание сухого остатка 25%. Тангенс угла
диэлектрических потерь на частоте 1МГц и температуре 20 С не превышает
0,025. Плёнка высыхает при 18-23 С в течение 1 ч, а при 130 С – 4 ч.
Удельное объёмное сопротивление при 20 С равно 5*1014 Ом*см, а после
пребывания во влажной атмосфере (98%) в течение 48 часов снижается до 1013
Ом*см. Электрическая прочность 20 кВ/мм. Влагонабухаемость плёнки в течение
48 часов при 18-23 С не превышает 1%. Эмаль устойчива к перепаду температур
от –60 до + 125 С . Применяется для защиты полупроводниковых приборов и
кристаллов с p-n-переходов от внешних воздействий в интервале температур от
–60 до +150 С.
Эмаль КО-97— смесь кремнийорганического лака ФМ-34 и смолы БКМ-5 с
добавлением пигментов и наполнителей. Вязкость при 20 С равна 80-100 сСт.
Содержание сухого остатка не превышает 48-58%. Удельное объёмное
сопротивление при 20 С равно 1014 Ом*см, а при 170 С — 1012 Ом*см, а после
пребывания во влажной атмосфере снижается до 1011 Ом*см. Тангенс угла
диэлектрических потерь на частоте 1 МГц при 20 С равен 0,01, а при 170 С
повышается до 0,015. Диэлектрическая проницаемость при тех же условиях
соответственно равна 3,5 и 5,5. Влагонабухаемость не превышает 1%.
Электрическая прочность 20 кВ/мм. Эмаль устойчива к перепаду температур
от –65 до +150 С.
Эмаль ЭП-274 — суспензия пигментов в эпоксидном лаке ЭП-074. Для
разбавления применяется смесь, содержащая 30% ацетона, 30% этилцеллозольва
и 40% ксилола. Вязкость 80-100 сСт. Время высыхания плёнки при 150 С
равно 1 ч. Содержание сухого остатка лежиит в пределах от 35 до 45%.
Применяется для окраски полупроводниковых приборов, эксплуатирующихся в
условиях тропического климата, и выпускаются в двух цветов: серого и
черного.
Эмаль РПЭ-401 — смесь кремнийорганического лака ФМ-ЗУ и раствора
смолы БМК-5 в соотношении 5:1, в которую добавляют наполнители: 20% рутила,
20% кварца, 30% слюды и 30% талька. Плёнка высыхает при 200 С в течение 5
часов. Удельное объёмное сопротивление при 20 С равно 1014 Ом*см, при 200
С — 1012 Ом*см, а после выдержки во влажной атмосфере (98%) – 2,8*1013
Ом*см.
Эмаль ЭС-50 — кремнийорганическая смола модифицированная телиэфирами
и эпоксидными смолами, в которую в качестве наполнителя вводится рутил.
Плёнка высыхает при 180 С в течение 2 часов. Удельное объёмное
сопротивление при 20 С равно 1014 Ом*см, при 200 С — 1012 Ом*см, а после
выдержки во влажной атмосфере (98%) – 109 Ом*см.
Компаунды МБК-1 и МБК-3 — высокомолекулярные полимерные соединения
с добавкой химически активного компонента – отвердителя, широко
применяемые для защиты германиевых p-n-переходов. Перед использованием
компаунды вакуумируют – обрабатывают под вакуумом. Плёнка компаунда МБК-1
после полимеризации в течение 10-12 часов при температуре 80-100 С
твёрдая, а компаунда МБК-3 эластичная, поэтому устойчивость компаунда МБК-
3 к термоциклам значительно выше. Термостойкость компаундов невысока —
около 150 С. Удельное объёмное сопротивление компаунда МБК-3 —1012-1013
Ом*см. Компаунды обладают хорошей адгезией к германию и удовлетворительной
влагостойкостью. Тангенс угла диэлектрических потерь при частоте 50 Гц и
температуре 20 С равен 6*10-2 — для МБК-1 и 5*10-2 — для МБК-3.
Диэлектрическая проницаемость при тех же условиях соответственно равна 3,3
и 4. Электрическая прочность лежит в пределах 15–25 кВ/мм при толщине
плёнки 1-1,5 мм температуре 20 С.
Компаунды ГК и ГКН — предназначены для пассивации и защиты p-n-
переходов полупроводниковых приборов, работающих при температурах от –60
до +220 С. По внешнему виду компаунд ГК (Г– гидридсодержащий, К– компаунд)
— бесцветная мутная, а компаунд ГКН (Н – с наполнителем) светло-серая
жидкость.
Плёнка компаундов после полимеризации — выдержке при комнатной
температуре 20 ч, а затем при 110 С – 2 ч и при 150 С не менее 5 ч –
эластичная. Удельное объёмное сопротивление при 20 С соответственно равно
1014 и 1015 Ом*см. Тангенс угла диэлектрических потерь на частоте 106 Гц
равен 3*10-3, а диэлектрическая проницаемость на той же частоте –3,5.
Электрическая прочность 25 кВ/мм.
Эпоскидные смолы.
Эпоксидными смолами называются олигомеры и полимеры,: СН—СН содержащие
в микромолекуле эпоксидные группы / ,,
Эпоксидные смолы представляют собой группу искусственных смол,» получаемых
в результате реакции хлорированных глицеринов;
с двухатомными или многоатомными фонолами в щелочной среде, Обычно для
получения эпоксидных смол используют эпихлоргидрин или дихлоргидрин
глицерина с резорцином или дифенилолпроданом. В первом случае получают
резорциновые смолы, во вто-Ч • ром — дйановые, которые как менее токсичные
и более дешевые получили наибольшее распространение. Молекулярная масса
эпоксидных смол может меняться от нескольких сотен до нескольких тысяч в
зависимости от соотношения в них исходных компонентов.
В табл. 27 приведены данные по влиянию соотношения эпихлоргидрина глицерина и дифенилоляропана на молекулярную! массу и, температуру размягчения эпоксидных смол. 1|
Эпоксидные смолы—это жидкие или низкоплавкие продукты?! легко растворимые во многих органических растворителях (аце-тоне, толуоле, хлорированных углеводородах и др.), нерастворимые в воде и мало растворимые в спиртах. С увеличением молекулярной массы растворимость эпоксидных смол уменьшается.
Неотвержденные эпоксидные смолы имеют ограниченное применение
Эпоксидные смолы, полученные взаимодействием эпихлоргидрина или дихлоргидрина с многоатомными фонолами, резорцином, анилином, аминами, гликолями, можно разбить на три основные группы: диэпоксидные, полиэпоксидные и алифатические диэпоксидные
|Таблица 27. Свойства эпоксидных смол |
|Характеристика |Состав смолы |
| |I |и |III|IV |
|Отношение молей эпихлоргадрина |2,6|2,0|1,5|1,2|
|глицерина к дифенилолпропану |:1 |:1 |:1 |:1 |
|............ |27 |43 |77 |99 |
| |483|650|903|141|
| | | |, |5- |
|Температура размягчения, ° С | | | | |
|....... | | | | |
|Молекулярная масса .......... | | | | |
К диэпоксидным относятся смолы на основе дифенилолпропана (ЭД-5, ЭД-
6, Э-37)), диаминодифенилметана (ЭМДА)„ фенолфталеина (ЭФФ) и
азотсодержащие на основе анилина (ЭА), к полиэпоксидным — смолы на основе
эпоксиноволаков (ЭН-5, ЭН-6), полифенолов (ЭТФ) и эпоксициануратные на
основе циануровой кислоты (ЭЦ), а к алифатическим диэпоксидным — смолы на
основе алифатических аминов (Э-181, ДЭГ-1, ТЭГ-1„ МЭГ-1 и ЭЭТ-1).
В полупроводниковом производстве для приготовления различных компаундов для
герметизации полупроводниковых приборов и интегральных схем широкое
применение находят эпоксидные смолы ЭД-5, ЭД-6, Э-37, ЭЦ и Т-10.
Смола ЭД-5 — вязкая светло-коричневая жидкость, продукт конденсации
дифенилолпропана (температура плавления 140— 142° С, содержание свободного
фенола не более 4%) с эпихлор-гидрином глицерина. Молекулярная масса
360—470. Температур» размягчения 0°С. Время отверждения с
гексаметилендиамином при 120° С равно 10 мин. Содержит 20% эпоксидных групп
и 2,5% летучих соединений. Мольное соотношение эпихлоргадрина и
дифенилолпропана 5:1.
Смола ЭД-6 — прозрачная вязкая жидкость от светло-желтого до светло-
коричневого цвета, продукт конденсации дифенилолпропана и эпихлоргидрина в
присутствии щелочи. Молекулярная масса 480—600. Температура размягчения 10°
С. Содержит от 14 до. 18% эпоксидных групп и 1% летучих соединений. Мольное
соотношение эпихлоргидрина и дифенилолпропана 2,5:1.
Смола Э-37—сиропообраэная жидкость от светло-желтого» до темно-коричневого
цвета, продукт взаимодействия дифенилолпропана и эпихлоргидрина.
Молекулярная масса 600—800. Температура размягчения 50—70° С. Содержит от
11 до 17% эпоксидных групп, 0,5% летучих соединений и 0,005 ионов хлора.
Мольное соотношение эпихлоргидрина и дифенилолпропана 1,2:1.
Смола ЭЦ — густой вязкий или твердый хрупкий материал от желтого до
коричневого цвета,, продукт конденсации циклического тримера циануровой
"кислоты с эпихлоргидрином. Молекулярная масса 400—600. Температура
размягчения 70—80^С. Содержит 30% эпоксидных групп,- 1,5% летучих
соединений, 5% хлора и 0,1% ионов хлора.Смола Т-10—прозрачный вязкий
материал от желтого до -коричневого цвета, продукт модификации смолы ЭД-6
полиорга носилоксаном Молекулярная масса 300—700 Температура раз-1 мягчения
60—70° С Содержит от 11,5 до 14,5% эпоксидных групп' и 97% сухого остатка
Применяется для приготовления заливочных составов для изделий электронной
техники, работающих в интервале температур от —60 до +220° С При комнатной
темпера туре смола не токсична а при ] 220° С
[pic]
не огнеопасна Полностью | растворяется в ацетоне 3
Широкое применение эпоксидных смол обусловлено исключи тельно ценным
комплексо свойств, присущих этой группе I искусственных соединений (рис 43)
Основные положительные качества эпоксидных смол за-ключаются в том, что
на их ос нове получают жидкие и твердые | материалы, которые отвержда- ются
как при комнатной, так и при повышенной температуре без образования
пузырей .
В качестве отвердителей для эпоксидных смол могут быть ис-
Рис 43 Зависимость свойств эпоксид ных смол от частоты и температуры
в — тангенса угла диэлектрических потерь б — объемного и поверхностного
удельного сопротивления е — диэлектрической проницае мости
пользованы алифатические и аро- % магические амины, пиперидин и ангидриды
кислот Алифатические амины — диэтилентриамин и триэтилентетрамин
характеризуются тем, что при добавлении их в эпоксидную смолу отверждение
ее происходит при комнатной температуре Однако при повышенных температурах
наблюдается ухудшение электро-физических свойств пластмасс Добавление к
эпоксидным смолам ;
ароматических аминов — метафенилендиамина, метилендиамина или
диаминдифенила позволяет получать пластмассы, отвержде- ние которых
происходит при повышенной температуре (40—60° С),^ и использовать их при
более высоких рабочих температурах, чем смолы с алифатическими аминами
Введение в эпоксидную смолу пиперидина дает температуру отверждения
порядка 100° С . Для получения пластмасс, стойких к повышенным
температурам, 1 в эпоксидную смолу добавляют ангидриды кислот (например, гидрид метилгексановой кислоты)
Отвердители придают эпоксидной смоле определенные специ-„ фические
свойства, необходимые для конкретных целей применения Свойства эпоксидных
смол после введения в них отвердите
лей зависят не только от рода отвердителя, но и от его количества. Избыток
отвердителя (как "и его недостаток) может отразиться на свойствах конечного
продукта Так, избыток аминов, особенно с высокой температурой кипения, приводит к тому, что полученные пластмассы способны вызывать коррозию
некоторых металлов (меди, латуни и др ) Количество отвердителя может^
отразиться также на физико механических и электрических свойствах
отвержденной смолы Таким образом, в зависимости от вида и количества
введенного в смолу отвердителя можно получать термореактивные продукты с
высокой химической стойкостью, механический прочностью и стабильностью
электрических параметров
Для отверждения эпоксидных смол широкое применение находят следующие материалы (отвердители)
Диэтилентриамин (ДЭТА) — жидкость желтого цвета Молекулярная масса 103
Температура кипения 206° С Содержит 27,2% первичных аминов и 12,8%
-вторичных Температура совмещения лежит в пределах от 20 до 40° С Для отверждения 100 ч смолы необходимо от 8 до 12 ч продукта Время отверждения при 100° С равно 6 ч
Гексаметилендиамин (ГМДА)—жидкость темно-желтого цвета Молекулярная масса
116 Температура плавления 42° С, а кипения 200° С Содержит 24% азота
Температура совмещения лежит в пределах от 40 до 60° С Для отверждения 100 ч смолы необходимо от 10 до 15 ч продукта Время отверждения при 25° С равно
5 сут, при 80° С—10 ч, при 120° С—3 ч
М-Фенилендиамин (МФДА) — жидкость желтого цвета Молекулярная масса 108
Температура плавления 60° С, а кипения 280° С Температура совмещения лежит в пределах от 60 до 90° С Для отверждения 100 ч смолы необходимо от 10 до
14 ч продукта Время отверждения при температуре 80° С равно 8 ч, а при 120°
С—2 ч
Дициандиамид (ДЦДА) — бесцветная жидкость Молекулярная масса 84 Температура плавления 200° С Цри нагревании разлагается Содержит 65% азота Температура совмещения лежит в пределах от 150 до 170° С Д'ля отверждения 100 ч смолы необходимо от 15 до 20 ч продукта Время отверждения при температуре 170° С равно 40 мин
Триэтаноламин (ТЭА) — бесцветная жидкость Молеку лярная масса 149
Температура кипения лежит в диапазоне от 170 до 225° С, а температура совмещения—в диапазоне от 40 до 80° С Для отверждения 100 ч смолы необходимо от 15 до 20 ч продукта Время отверждения при температуре от 80 до 100° С
равно 6 ч
Диметиланилин (ДМА)—.жидкость коричневого цвета Молекулярная масса 121
Температура китгения 192° С Температура совмещения 60° С Для отверждения
100 ч смолы необходимо от 0,05 до 0,5 ч продукта Время отверждения при
температуре 20°С равно 8 ч
Отвердитель Л 18—прозрачная вязкая жидкость от желЗ того до темно- коричневого цвета. Для отверждения 100 ч. смолы, используют от 20 до 80 ч. продукта.
Малеиновый ангидрид (МА) 1 С4НаОз — бесцветные/ игольчатые кристаллы или чешуйки белого цвета, растворимые^ в воде. Молекулярная масса 98,06.
Выпускается марка ЧДА. Температура плавления 52—54° С. Температура совмещения лежит в пределах от 55 до 60° С. Для отверждения 100 ч. смолы' необходимо 0,85—1 ч. продукта. Время отверждения при 120° С равно 2 ч, а при 150° С—10 ч.
Фталевый ангидрид (ФА) С8Н40з — порошок белого цвета. Молекулярная масса
148,11. Температура начала плавле-^' ния 130° С. Температура совмещения лежит в пределах от 135 до 145° С. Для отверждения 100 ч. смолы необходимо
3"ч. ангидрида. Время отверждения при 120—150° С равно нескольким часам.
Метилтепрагидрофталевый ангидрид (МТГФА) СдНщОз—белый кристаллический порошок или белые с кремовым оттенком чешуйчатые пластинки. Растворяется в эфире, ацетоне. Труднее растворяется в спирте. Не растворяется в воде.
Молекулярная масса 166,179. Температура плавления 60—65°С. Вязкость при температуре 90° С равна 30 сСт. Температура^ совмещения лежит в пределах от
60 до 80° С. Для отверждения 100 ч. смолы необходимо 4 ч..продукта. Время отверждения при 120° С равно 3 ч, а при 150°^С—15 ч. Применяется в качестве отвердителя при горячем отверждении эпоксидных смол или со- , ставов на их основе. Выпускается марка Ч с содержанием чисто- | го продукта 99%.
1
Тетрагидрофталевый' ангидрид (ТГФА) — кристал-1 лический порошок белого
цвета. Молекулярная масса 152. Тем--1 пература плавления 98—101° С.
Температура совмещения лежит ^ в пределах от 100 до 110° С. Для отверждения
100 ч. смолы не- 1 обходимо от 2 до 4 ч. продукта. Время отверждения при
120° С < равно 2 ч, при 130° С—3 ч, а при 150° С—6 ч.
„Отъ-ердитель УП-575 — жидкость от светло- до темно-коричневого цвета, продукт конденсации гексаметилендиамина ' с циклогексаноном. Показатель
преломления лежит в пределах от 1,49 до 1,51. Применяют для приготовления
пластмассы с тем- :
пературой отверждения выше 20° С. Увеличивает жизнеспособ- , ность
композиций.
Отвердитель АФ-2—вязкая жидкость красно-коричнево- < го цвета, продукт на
основе фенола этилендиамина и форма- :
лина.
Компаунды на основе эпоксидных смол.
Эпоксидные компаунды представляют собой продукты модификации эпоксидных
смол отвердителями, пластификаторами и наполнителями. При введении
"модифицирующих веществ изме-няются свойства эпоксидных смол: снижается их
вязкость, изменяется жизнеспособность, претерпевают изменения физико-
механические и электрические свойства. Таким образом, эпоксидные компаунды
представляют собой двух-, трех- и четырехкомпонентные системы, в которых
первая и вторая составляющие (смола и Отвердитель) являются постоянными, а
третья: и четвертая (пластификатор и наполнитель) вводятся для получения
определенных свойств пластмассы.
В качестве пластификаторов, уменьшающих хрупкость компаундов, используют
полиэфиры, дибутилфталаты, диоктилсеба-цинаты, трикрезилфосфаты, трифенилфосфаты и др. Количество вводимых пластификаторов обычно колеблется
в пределах от 5 до 30% по отношению к массе смолы.
Наполнители (песок, кварц, тальк, слюда и др.) улучшают механические и^
термические свойства компаундов и вводятся в их состав обычно в больших
количествах (до 300% по отноше'-нию к массе смолы).
Эпоксидные компаунды обладают хорошей адгезией ко многим материалам и
имеют малую усадку, колебания которой от 0,4 до 2,5% зависят от условий
отверждения и состава компаунда. В производстве полупроводниковых приборов
и 'интегральных схем для герметизации кристаллов с р-п-переходами широко
применяют следующие эпоксидные компаунды: эпоксидно-полиэфирные (К-115, К-
201, К-168, К-176, Д-2, Д-4. Д-19, ЭЗК-11, ЭЗК-12), эпоксидно-тиоколевые (К-
153 и др.), эпоксидно-каучковые (К-139 и др.), эпоксидно-
кремнийорганические (ЭФП-60, ЭФП-61, ЭФП-62, ЭФП-63, ЭФП-64, ЭФП-65, ЭКБТ-
103, БЭТА-1, КЖ-25, ЭКМ, ЭЦД, ЭКП-200).
Компаунд К-115—прозрачная жидкость от светло-желтого до коричневого цвета, продукт модификации смолы ЭД-5 полиэфиром МГФ-9. Содержит 2,5,% летучих
примесей. Жизнеспособность при 20° С равна 2 ч. Отверждение проводят по
одному из режимов: при комнатной температуре—24 ч, при 60° С— 10—12 ч, при
80° С—8—10 ч, при 100° С—6 ч, при ^120° С—3 ч. Предел прочности
отвержденного компаунда при сжатии равен (1,1—1,4). Ю8 Н/м2, а при изгибе
(0,9-1,3) • 108 Н/м2. За 24 ч поглощает 0,04% влаги и 0,4% ацетона.
Удельное объемное электрическое сопротивление 1015 Ом-см, а
поверхностное ' &-1014 Ом-см. Тангенс угла диэлектрических потерь на
частоте 106 Гц при температуре 20° С равен 0,02, а диэлектрическая
проницаемость при тех же условиях равна 4 Электрическая прочность 25 кВ/мм.
Теплостойкость 100° С.
Компаунд К-201 по механическим и электрическим свойствам аналогичен К-
115, но обладает меньшей теплостойкостью. Применяется с большим количеством
(300%) наполнителя.
Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: архитектура реферат, проблема дипломной работы, физика и техника.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 | Следующая страница реферата