Предыдущая страница реферата | 9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19 | Следующая страница реферата

[pic]

[pic]

[pic]

3…25 мкм

Рис 16 Схема изготовления эпитаксиально-планарной биполярной ИМС с помощбю разделительной диффузии.

а) – термическое оксидирование и первая фотолитография; б) – локальная диффузия; в) – эпитаксия; г) – термическое оксидирование и вторая фотолитография; д) – разделительная диффузия; е) – формирование базовых областей; ж) – формирование эмиттерных и приконтактных областей коллекторов; з) – формирование металлизации.

з)

в)

ж)

Рис 18 Схема изготовления изолированных карманов биполярной ИМС с применением поликристаллического кремния (эпик-процесс).

а) – эпитаксия; б) – термическое оксидирование и фотолитография; в) – локальное травление; г) – удаление SiO2 –маск, осаждение SiO2 –пленки; д) – выращивание поликристаллического кремния; е) – шлифовка со стороны исходной пластины.

е)

б)

д)

а)

в)

б)

(
Рис 17 Схема изготовления биполярной ИМС с помощью коллекторной изолирующей диффузии.

а) – исходная эпитаксиальная структура; б) – коллекторная изолирующая диффузия; в) – базовая p+ -диффузия; г) – формирование эмиттеров и металлизации.

а)

г)

[pic]

[pic]

[pic]

[pic]

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: список рефератов, зимнее сочинение, картинки реферат.



Предыдущая страница реферата | 9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки