Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

5) порезы.
1.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.
1.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.
1.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.
1.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.
1.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.
1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.
1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной операции, наличие органических веществ и других реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным окислителем.
1.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.
1.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.
В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.
1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.
2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.
Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.
2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.
Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.
2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.
На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.
2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.
2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.
2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4(1) л/мин на одну установку.
2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.
2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран.
2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.
2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки.
Закрыть ванны крышками.
2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3 минуты.
2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.
2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65(5)0С.
Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.
2.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции.
Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.
2.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.

Технологический процесс.

3.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата
НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.
3.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150(10)0С.
При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.
3.3 Открыть крышки ванн.
3.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.
В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.
Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.
3.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.
Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.
3.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.
3.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.
При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.
3.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью
Каро.
3.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.
3.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.
После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро
(200(50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.
3.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.
3.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.
3.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.
3.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.
3.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом(см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.
3.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 ТАК КАК по окончании отмывки пластин.
3.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.
3.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.
3.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) 0С.
Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.
3.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.
3.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.
3.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.
3.23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.

КОНТРОЛЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ КРИСТАЛЛА

Оборудование
. система измерительная Н2001 (“Интеграл”);
. зонд измерительный ОМ6010;

Алгоритм программы разбраковки
Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл. 4.

Рис.3.
[pic]
Табл. 3.
|наименование элементов |условное|тип |материал слоя |сопротивле|толщина |
|структуры |обозначе|пр-ти | |ние |слоя, |
| |ние | |наименование |слоя |глубина |
| | | |ГОСТ, ОСТ, ТУ |(s=Ом/( |диффузии |
| | | | | |мкм |
|защитный слой |Н1 |- |SiO2 термический |- |- |0.4(0.05 |
|диффузионный карман |Н2 |p |трехфтористый бор |ОСТ 6-02-4-83 |750-1500 |9(1.5 |
|n-канальнх транзисторов | | | | | | |
|защитный слой |Н3 |- |SiO2 термический |- |- |0.3(0.05 |
|области стока, истока |Н4 |p+ |трехфтористый бор |ОСТ 6-02-4-83 |(110 |1.7(0.5 |
|защитный слой |Н5 |- |SiO2 термический |- |- |0.4(0.05 |
|области стока, истока |Н6 |n+ |фосфор-хлор окись |ТУ-09-3537-85 |(40 |2(0.5 |
|защитный слой |Н7 |- |SiO2 термический |- |- |0.35(0.05|
|диэлектрик затвора |Н8 |- |SiO2 термический |- |- |0.1+0.01-|
| | | | | | |0.02 |
|контактные окна |- |- |- |- |- |- - - - -|
| | | | | | |- - |
|контактные площадки и |Н9 |- |заготовки 270х120х28 |Яе 0.021,157 ТУ |- |1.2(0.1 |
|проводники | | | | | | |
|защитный слой |Н10 |- |смесь газовая аргона с |ТУ6-02-1228-82 |- |0.8(0.1 |
| | | |моносиланом |ТУ6-74-632-86 |- |1.3(0.2 |
| | | |фоторезист ФП-383 | | | |

Табл. 4. Нормы параметров 564 ИЕ10

|наименован|нормы цеха |погрешнос|режим измерения |номер |
|ие | |ть | | |
|параметра |не менее |не более |% |Ucc,B |Uo,B |Uoпор,B |UIпор,B |UI(,B |UIH,B |теста |
|проверка |- |/-2/ |- |- |- |- |- |- |- |1-16 |
|контактир.| | | | | | | | | | |
|,В | | | | | | | | | | |
|Uпроб,B |15.0 |- |(5 |- |- |- |- |- |- |17,18 |
|II(,мкА |- |0.06 |(40 |15 |- |- |- |0 |15 |51-56 |
|IIH,мкА |- |0.06 |(40 |15 |- |- |- |0 | |57-62 |
|Icc,мкА |- |8.0 |(5 |15 |- |- |- |0 |15 |63-93 |
|Io(,мА |1.35 |- |(5 |10 |0.5 |- |- |0 |10 |27-34 |
|Io(,мА |0.53 |- |(5 |5 |0.4 |- |- |0 |5 |19-26 |
|IoH,мА |0.75 |- |(5 |10 |9.5 |- |- |0 |10 |43-50 |
|IoH,мА |0.63 |- |(5 |5 |5 |- |- |0 |5 |35-42 |
|Uо(,B |- |0.008 |(40 |10 |- |- |- |0 |10 |102-109 |
|UoH,B |-0.008 |- |(40 |0 |- |- |- |-10 |0 |110-118 |
|Uo( max,B |- |0.6 |(5 |5 |- |1.7 |3.3 |- |- |119-127 |
|UoH min,B |4.65 |- |(5 |5 |- |1.7 |3.3 |- |- |128-134 |
|Jcc,мкА |- |5.0 |- |- |- |- |- |- |- |94,96,98|
| | | | | | | | | | |,100 |
|Jcc,мкА |5.0 |- |- |- |- |- |- |- |- |95,97,99|
| | | | | | | | | | |,101 |

СБОРОЧНОЕ ПРОИЗВОДСТВО

ВВОДНАЯ ЧАСТЬ

Микросхема К425НК1

Микросхема интегральная К425НК1 предназначена для работы в блоке управления экономайзера автомобиля, изготавливаемого для народного хозяйства.

Рис. 4. Схема расположения выводов

[pic]

Нумерация выводов показана условно.
Ключ “=>” показывает направление отсчета выводов. масса не более 3г.

Табл. 5 . Назначение выводов.

|Номер вывода |Назначение вывода |
|1 |Вывод резистора R9 |
|2 |Точка соединения резисторов R4 и R5 |
|3 |Точка соединения резисторов R5 и R6 |
|4 |Точка соединения резисторов R6 и R7 |
|5 |Точка соединения резисторов R1 и R2 |
|6 |Точка соединения резисторов R4 и R9 |
|7 |Точка соединения резисторов R2 и R3 |
|8 |Вывод резистора R3 |
|9 |Вывод резистора R8 |

Табл. 6. Основные электрические параметры (при температуре 25(100С).

|Наименование параметра, режим |Буквенное |не менее |не более |
|измерения, единица измерения |обозначение | | |
|Сопротивление, КОм |R1 |27.0 |33.0 |
|Сопротивление, КОм |R2 |0.612 |0.748 |
|Сопротивление, КОм |R3 |0.459 |0.561 |
|Сопротивление, КОм |R4 |0.501 |0.612 |
|Сопротивление, КОм |R5 |0.225 |0.275 |
|Сопротивление, КОм |R6 |0.844 |1.032 |
|Сопротивление, КОм |R9 |0.577 |0.705 |
|Сопротивление, КОм |R7+R8 |2.44 |2.98 |
|Выходное напряжение, В (при входном|Uвых.5 |2.7 |8.0 |
|напряжении форма сигнала синусоида,| | | |
|амплитуда 10В, частота 3390 Гц) | | | |
|Выходное напряжение, В (при входном|Uвых.4 |0.6 |1.6 |
|напряжении форма сигнала синусоида,| | | |
|амплитуда 10В, частота 3390 Гц) | | | |

МАРШРУТ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОСХЕМ К425НК1

Эти схемы изготавливаются по толстопленочной технологии.
1. Промывка чистых плат в деионизованной воде в УЗ поле с порошком.
2. Термообработка при температуре 600 — 700ОС.
3. Нанесение первой стороны проводников с проверкой совмещения под микроскопом. Пасты — ПП3, содержащие серебро, палладий, органику.
4. Вжигание при температуре 625 — 740ОС.
5. Нанесение второй стороны проводников. Пасты — ПП1.
6. Вжигание при той же температуре ( предварительное вжигание ).
7. Нанесение проводников с торцевой стороны на полуавтомате с целью соединения сторон.
8. Окончательное вжигание проводников при температуре 800 — 865ОС.
9. Нанесение резистивного слоя на полуавтомате на маске. Состав пасты — окись Ag, Pd, органика.
10. Вжигание резистивной пасты при температуре 700 — 750ОС.
11. Подгонка лазерным лучом (установки “Темп”)
12. Измерение резисторов, контроль внешнего вида.
13. Пайка в электронагревательном устройстве в воздушной среде.

Эта операция предусматривает пайку навесных элементов с помощью паяльной лампы на автоматической линии пайки. Здесь закладывается качество.
От того на сколько качественно проведена пайка зависит качество и надежность схем. Паста наносится трафаретной печатью через трафарет.
Нанесенные элементы ставят автоматически путем захвата их из бункера и установки на место. Температура плавления — 200-220ОС. Здесь не допускается смещение кристаллов, неправильная ориентация кристаллов, прокрасы пасты.
14. Промывка в органическом растворителях в УЗ поле.

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: банк курсовых работ бесплатно, сочинения по русскому языку, реферат на тему безопасность.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки