Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата

Найбільш важливі області застосування:
1) аналіз експлуатаційних ушкоджень;
2) джерело інформації про внутрішню будову металу;
До можливостей мікрофотографії варто віднести: а) виявлення ліній утоми; б) спостереження водневої крихкості; в) вивчення дефектів росту кристалів; г) виявлення високотемпературної дислокації включень.

7.2 Принцип дії

Електронний промінь у виді тонкого пучка електронів (діаметр пучка ( 10 нм) обігає (сканує) зразок по рядках крапку за крапкою і синхронно передає сигнал на кінескоп. При влученні електронного променя в яку-небудь точку зразка відбувається вибивання з його матеріалу вторинних електронів і відбитих електронів.

Електронний зонд являє собою тонкий пучок електронів приблизно циліндричної форми, при впливі його на зразок збуджуються однаково малі плями електронного порушення. Цим порозумівається гарна глибина різкості зображення при растровій електронній мікроскопії.

Первинний електронний промінь (зонд) формується у вакуумному стовпчику (електронній гарматі) растрового електронного мікроскопа (мал.6).
Електрони вилітають з розжарюваного катода, і прискорюються електричним полем напругою 1-50 кв. Промінь фокусується трьома електромагнітними конденсорними лінзами і за допомогою котушок, що відхиляють, сканується за зразком.

Випроменені зразком електрони викликають у сцинтилляторі світлові спалахи (фотони). Швидкі пружно розсіяні (відбиті) електрони з високою енергією без значного підведення енергії попадає в сцинтиллятор; вторинні електрони з низькою енергією при русі до сцинтиллятору одержують прискорення в результаті додатка електричного поля. Світлові промені залишають вакуумну камеру через світловод і в фотомножнику, що примикає до нього перетворюються у світлові імпульси. За допомогою останніх, об'єкт начебто висвітлюється сцинтиллятором, установленим на бічній стороні об'єкта, а спостереження ведеться з боку напрямку первинного електронного променя.

РОЗДІЛ ІІ. ПОСТАНОВКА ЗАДАЧІ

За допомогою електронного мікроскопа, використовуючи малі збільшення до 20X можна спостерігати великі площі поверхні, а також одержувати знімки окремих ділянок ушкоджень і зломів при 100000 кратному збільшенні.

Найбільш важливі області застосування:
1) аналіз експлуатаційних ушкоджень;
2) джерело інформації про внутрішню будову металу;
3) аналіз поверхні напівпровідникових матеріалів.

Для виконання дипломної роботи було поставлено таку задачу:

1. Вивчити будову та принцип роботи електронного мікроскопа.
2. Вивчити конструкцію та принцип роботи растрового електронного мікроскопа.
3. Провести юстировку електронно-оптичної схеми електронного мікроскопа.
4. Розробити схему сканування.
5. Виготовити пристрій для реєстрації електронів.
6. Розробити схему для реєстрації фотонів.
7. Приготовити металеві та напівпровідникові зразки для досліджень.
8. Провести дослідження поверхні зразків.
9. Оформити результати.

РОЗДІЛ ІІІ. ЕКСПЕРИМЕНТАЛЬНА ЧАСТИНА

В ході проведення експериментальної частини дипломної роботи були використані такі прибори:

. Електронний мікроскоп TESLA BS500. Гарантована дозволяюча здатність якого 7 [pic], коефіцієнт збільшення 500 – 100000

. Підсилювач електрометричний У5-7. Гранична чутливість якого 10-10 А

(V)

. Циліндр Фарадея. (Виготовлений вручну)

. Фотодіод

. Генератор пилкообразних імпульсів

. Самописець
Під час виконання дипломної роботи було проведено юстировку електронно- оптичної схеми електронного мікроскопа, розроблено схему сканування і виготовлено пристрій для реєстрації електронів.

Мал. 7. Схема реєстрації вторинних електронів
1. – катод. 2. – анод. 3. – відхиляючі котушки. 4. – циліндр Фарадея. 5. – зразок. 6. – підсилювач електрометричний У5-7. 7. – самописець. 8. – генератор пилкообразних імпульсів

(мал.7). Розроблено схему для реєстрації фотонів(мал.8).

Мал. 8. Схема реєстрації вторинних електронів

1. – катод. 2. – анод. 3. – відхиляючі котушки. 4. – фотодіод. 5. – зразок. 8. – генератор пилкообразних імпульсів

Приготовлено металеві та напівпровідникові зразки для досліджень:

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: конспект подготовительная группа, философские рефераты.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки