Магнетронные распылительные системы

Категория реферата: Рефераты по физике
Теги реферата: решебники скачать бесплатно, реферат на тему ресурсы
Добавил(а) на сайт: Новомейский.

9 W. D. Westwood, S. Maniv. The current – voltage characteristic of magnetron sputtering systems. J. Appl. Phys. vol. 54, n. 12, December 1983, pp. 6841 – 6846.

10 F. A. S. Ligthart, R. A. J. Keijser. Two – electron group model and electron energy balance in low - pressure gas discharges. J. Appl.
Phys. vol. 51, n. 10, October 1980, pp. 5295 – 5299.

11 A. Fiala, L. C. Pitchford, J. P. Boeuf. Two – dimensional, hybrid model of low – pressure glow discharges. Phys. Review. ser. E, vol. 49, n.
6, June 1994, pp. 5607 – 5622.

12 K. Kuwahara, H. Fujiyama. Application of the Child – Langmuir Law to Magnetron Discharge Plasmas. IEEE Trans. Plasma. Sci., vol. 22, n. 4,
August 1994, pp. 442 – 448.

13 T. E. Sheridan, M. J. Goeckner, J. Goree. Electron distribution
Functions in a sputtering Magnetron Disharge. Jap. J. Appl. Phys., vol. 34,
P. 1, n. 9A, September 1995, pp. 4977 – 4982.

14 Tsutomu Muira, Tatsuo Asamaki. A theory on planar magnetron discharge. Thin Solid Films 281–282, 1995, pp. – 190 – 193.

15 F. A. Green, B. N. Chapman. Electron effects in magnetron sputtering. J. Vac. Sci. Technol., vol. 13, n. 1, January/February 1976. pp. 165–168.

16 J. G. Kirk, D. J. Galloway. The evolution of a test particle distribution in a strongly magnetized plasma. Pl. Phys., vol. 24. n. 4,
1982, pp. 339 – 359.

17 N. D’ Angelo, M. J. Alport. On “anomalously” high ion temperatures in plasma discharges. Pl. Phys., vol. 24. n. 10, 1982, pp. 1291 – 1293.

18 M. Katsch, K. Wiesmann. Relaxation of supratermal electrons due to coulomb collisions in a plasma. Pl. Phys., vol. 22, 1980, pp. 627 – 638.

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки