Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата



вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02

спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87

перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88

салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01

салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси Каро).

Требования безопасности.

1.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;

4) термоопасность;

5) порезы.

1.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.

1.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.

1.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.

1.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.

1.6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.

1.6.1 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.

1.6.2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной операции, наличие органических веществ и других реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным окислителем.

1.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.

1.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.

В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.

1.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.

2.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.

Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.

2.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.

Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.

2.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.

На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.

2.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.

2.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.

2.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4± 1) л/мин на одну установку.

2.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.

2.8.1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран.

2.8.2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

2.8.3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.

2.8.4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.

2.8.5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.

2.8.6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3 минуты.

2.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.

2.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65± 5)0С.

Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: научные текст, реферат на тему отношения.

Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки