Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8 | Следующая страница реферата

Поверхностная концентрация определяется по формуле:

[pic], (2)

Из формулы 1 выражаем D2t2:

[pic]

Тогда имеем следующее выражение для распределения примеси в базе:

[pic], (3)

Результаты расчета распределения примеси в базе приведены в таблице
1, а сама кривая представлена на рисунке 1.

1.2 Расчет режимов базовой диффузии

К основным параметрам диффузионного процесса относят время диффузии и температуру диффузии.

Из выражения 2 найдём произведение D1t1 для первого этапа диффузии
(загонки) по формуле:

где [pic]

В результате получим:

[pic]

Коэффициент диффузии примеси определяется из выражения Аррениуса:

где [pic]=5.1 (для бора) – постоянная диффузии,

[pic]=3.7 (для бора) – энергия активации, k – постоянная Больцмана,

Т – температура процесса диффузии.

Таким образом для бора получаем следующее выражение:

Температуру базовой диффузии при загонке выберем равной 1073К

(800(С), а при разгонке 1373К (1100(С) тогда:

[pic]

[pic]

[pic]

[pic]

1.3 Распределение примесей в эмиттере

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: курсовые работы бесплатно, реферат влияние, курсовик.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7  8 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки