Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

3. Контроль электрических параметров кристалла................13

3.1
Оборудование................................................................
..................13

3.2 Алгоритм программы разбраковки..........................................13

Список используемой литературы...................................................14
1. Введение

Микросхема 564ИЕ10

Микросхема содержит два отдельных четырехразрядных двоичных счетчика.
Триггеры каждого из них устанавливаются в исходное состояние (нулевое) при подаче уровня 1 на вход R. Триггеры счетчиков 564ИЕ10 переключаются в момент спада импульсов положительной полярности на входе СР при уровне 0 на входе CN. Возможна подача импульсов отрицательной полярности на вход CN при уровне 1 на входе СР. Таким образом, входы CP и CN объединены логической функцией И. При соединении микросхем 564ИЕ10 в многоразрядный счетчик с последовательным переносом выводы 8 подключаются к входам СР следующих, а на входы CN подают уровень 0.
На счетчике 564ИЕ10 можно собрать делитель частоты с коэффициентом деления от 2 до 15.

Рис.1. Графическое изображение Рис. 2. Временная диаграмма

МС 564ЕИ10 работы счетчика
564ИЕ10

[pic]

2. Маршрут изготовления кристалла 564ИЕ10

1. Формирование партии пластин.

2. Гидромеханическая отмывка пластин.

3. Химическая обработка.

Смесь Каро (H2SO4+H2O2), перикисьно-амиачная смесь.

Оборудование — линия “Лада 125”.

4. Окисление 1.

Установки СДОМ, АДС. Температура 1000ОС. О2+пар.

5. Фотолитография. Формирование области р-кармана.

5.1. Нанесение фоторезиста.

Фоторезист — ФП383. Установка ХБС.

5.2. Совмещение экспонирования пластин ЭМ — 576А.

5.3. Проявление фоторезиста.

Проявитель — едкий калий.

5.4. Дубление фоторезиста.

Установки “Лада”.

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: автомобили реферат доход реферат, конспект, мцыри сочинение.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки