Производство кристалла 564ИЕ10
Категория реферата: Рефераты по технологии
Теги реферата: взаимодействие реферат, хозяйство реферат
Добавил(а) на сайт: Fedorenko.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 | Следующая страница реферата
18. Снятие фосфорселикатного стекла.
HF : H2O =1 :10.
19. Разгонка фосфора.
Температура 1000ОС. О2+пар.
20. 4Я фотолитография.
Вскрытие областей под затвор и контактные окна.
21. Окисление 2 — подзатворный диэлектрик.
Температура 1000ОС. О2+HCl.
22. Стабилизация фосфора.
Температура 900ОС. Диффузант — POCl3.
23. Подлегирование.
24. Отжиг подзатворного диэлектрика.
25. 5Я фотолитография.
Вскрытие контактных окон.
26. Химическая обработка.
27. Напыление Al+Si.
Установка “Магна 2М”.
28. 6Я фотолитография.
Формирование алюминиевой разводки.
29. Вжигание алюминия.
Температура 475ОС в азоте.
30. Нанесение защитного окисла.
Температура 400ОС. SiH4+O2.
Установка “Аксин”.
31. 7Я фотолитография.
Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: автомобили реферат доход реферат, конспект, мцыри сочинение.
Предыдущая страница реферата | 1 2 3 4 5 6 7 | Следующая страница реферата