Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

2) переключить вентиль на редукторе поворотом против часовой стрелки.

3) продуть систему азотом, выполняя переходы п.п. 6.1.
3.3 Произвести измерения толщины окисла в соответствии с требованиями
17.25202.00004 в трех точках пластины-спутник. Толщина окисла должна соответствовать норме, заданной в таблице 2.
3.4 Заполнить сопроводительный лист и рабочий журнал.
5 Годные пластины передать на следующую операцию.
2.2 Операция удаление фоторезиста в смеси Каро

2.2.1 Оборудование.

. установка химической обработки ЩЦМЗ 240 212
. нагреватель ультрачистых сред ЩЦМЗ 031 173
. кассета (07-0518
. тара межоперационная ЩИТ - 725
. пинцет (09-1114
. держатель (03-0767
. стекло 093-2, КЛ.2, штабик 50 ОСТ 11 110735 002-73
. нарукавники полиэтиленовые ТУ 95 7037-73
. термометр жидкостной стеклянный тип А ГОСТ 28 498-90
. пластина со структурами 17.10201.00024
. водорода перекись 17.10201.00022
. кислота серная 17.10201.00024
. вода деионизованная марка А ТВО 029 001 МК-02
. спирт этиловый ректификованный технический марка “Экстра” ГОСТ 18300-87
. перчатки резиновые А7-10 ГОСТ 3-88
. салфетка из мадаполама ТВО 054 115 МК-01
. салфетка из батиста ТВО 054 108 МК-02

Настоящая карта устанавливает порядок проведения процесса удаления пленок фоторезиста с кремниевых пластин, не имеющих металлических покрытий, в серной кислоте, а затем в смеси серной кислоты и перекиси водорода (смеси
Каро).

2.2.2 Требования безопасности.

2.1 При проведении данного процесса возможны следующие виды опасности:

1) химические ожоги;

2) отравления;

3) электроопасность;

4) термоопасность;

5) порезы.
2.2 Источниками химических ожогов являются серная кислота, перекись водорода и их смеси, а также их пары при попадании на кожу и в организм человека.
2.3 Источником электроопасности является установка химической обработки с незащищенной электропроводкой и заземлением.
2.4 Источником термоопасности является нагретая смесь серной кислоты и перекиси водорода и подогретая деионизованная вода.
2.5 Источником порезов может быть применяемая стеклянная оснастка со сколами и трещинами.
6 Во избежание химических ожогов и отравлений выполнять требования изложенные в ТВО 045 039 ТИ.
7 Работу со смесью перекиси водорода и серной кислоты на установке проводить только при закрытых шторках, в резиновых перчатках одноразового использования, в нарукавниках и фартуке.
2 На рабочем месте не должно быть предметов не относящихся денной операции, наличие органических веществ и других реактивов, не предусмотренных картой, так как перекись водорода является сильным окислителем.
2.7 Во избежание термоопасности не касаться руками горячих частей оборудования и горячих растворов.
2.8 Во избежание порезов необходимо быть внимательным и осторожным при использовании оснастки из стекла.
В случае боя стеклянной оснастки собрать крупные осколки сухой салфеткой, а мелкие влажной и выбросить в урну.
2.9 При возникновении аварийной ситуации немедленно отключить технологический блок тумблером, расположенным на нижней панели управления, поставив его в положение ОТКЛ, затем вызвать наладчика, сообщить мастеру.

2.2.3 Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

3.1 Убедитесь по записи в журнале, что производственная гигиена рабочего места и участка соответствует 17.25101.00002.
3.2 Убедиться по журналу готовности оборудования, что установка химической обработки пластин и установка контроля проверены и подготовлены к работе наладчиком.
Без подписи наладчика к работе не приступать, сообщить мастеру.
3.3 Надеть перед началом работы вне рабочей зоны полиэтиленовые нарукавники и резиновые перчатки.
Промыть руки в перчатках деионизованной водой и осушить салфеткой.
3.4 Проводить ежедневно в начале смены протирку влажной салфеткой из мадаполама внешних поверхностей установки и решетки вытяжки слива.
На лицевой панели установки должна быть надпись, указывающая назначение операции и наименование используемого раствора.
3.5 Промыть рабочие ванны и находящиеся в них нагреватели, решетки и крышки деионизированной водой из шланга.
3.6 Слить воду из рабочих ванн, открыв вентили слива. Убедиться в том, что вода полностью удалена из ванн.
3.7 Контролировать расход вод деионизированной по ротаметру, он должен составлять (4(1) л/мин на одну установку.
3.8 Приготовить смесь серной кислоты перекиси водорода в двух рабочих ваннах установки.
1 Налить на дно первой ванны 25-50 мл перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода на 1-2 с. Закрыть кран.
2 Налить в первую ванну 6 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
3 Налить во вторую ванну 1.8 л перекиси водорода, открыв кран на передней панели установки с надписью перекись водорода, до нижней отметки на стенке ванны. Закрыть кран.
4 Налить во вторую ванну 4.2 л серной кислоты, открыв кран на передней панели установки с надписью серная кислота, до верхней отметки на стенки ванны. Закрыть кран.
5 Перемешать приготовленную смесь Каро с помощью стеклянной палочки. Закрыть ванны крышками.
6 Выставить на реле времени время обработки в первой рабочей ванне (с серной кислотой) 5 минут, во второй рабочей ванне (со смесью Каро) 3 минуты.
3.9 Заполнить промежуточную ванну деионизованной водой, открыв кран.
3.10 Проверить термометром температуру горячей деионизованной воды в промежуточной ванне. Она должна быть (65(5)0С.
Если горячая вода в ванне не соответствует указанной температуре, работу остановить, сообщить неполадку.
3.11 Получить в кассете пластины, предназначенные для данной операции.
Убедиться по сопроводительному листу, что полученные пластины предназначены для данной операции и что проведены предыдущие операции.
3.12 При измерении объемов жидких материалов допустимое отклонение обеспечивается имеющимися средствами измерения.

2.2.4 Технологический процесс.

4.1 Включить нагреватель ванн соответствующими тумблерами автомата
НАГРЕВАТЕЛЬ, поставив тумблеры в верхнее положение, при этом должны загореться сигнальные лампочки.
4.2 Нагреть серную кислоту (в первой ванне) и смесь Каро (во второй ванне) до температуры (150(10)0С.
При достижении технологической температуры загорается сигнальная лампочка регулятора температуры.
4.3 Открыть крышки ванн.
4.4 Убедиться с помощью термометра, что температура нагретой серной кислоты и смеси Каро соответствуют заданной.
В случае несоответствия температур по регулятору и термометру на величину, превышающую 100С, вызвать наладчика для устранения несоответствия.
Разрешается начинать обработку пластин при температуре 1200С.
4.5 Опустить кассету с пластинами с помощью ручки в ванну с нагретой серной кислотой.
Погружение кассет с пластинами проводить медленно. При возникновении бурной реакции при растворении фоторезиста поднять кассету. Следить за тем, чтобы пластины в процессе погружения остались в пазах кассеты.
4.6 Включить реле времени первой рабочей ванны.
4.7 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из первой ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции серной кислоты обрабатывать не более 1500 пластин.
При обработке пластин в первой рабочей ванне в серной кислоте после обработки каждых 250 пластин доливать серную кислоту 150-200 мл до уровня верхней отметки на стенке ванны.
4.8 Переставить кассету с пластинами во вторую рабочую ванну со смесью
Каро.
4.9 Включить реле времени второй рабочей ванны.
4.10 Извлечь кассету с пластинами с помощью ручки из второй ванны при загорании красной сигнальной лампочки.
В одной порции смеси Каро обрабатывать не более 300 пластин.
После обработки 100 пластин осторожно доливать в ванну со смесью Каро
(200(50) мл перекиси водорода. Следующую доливку делать после обработки каждых 50 пластин.
4.11 Выдержать пластины в кассете в рабочем объеме в течении 1-2 минут.
4.12 Поместить кассету с пластинами в ванну с горячей деионизованной водой.
4.13 Промыть пластины в ванне с горячей деионизованной водой в течении 1-2 минут.
4.14 Перенести кассету с пластинами из промежуточной ванны в ванну каскадной промывки.
4.15 Проводить отмывку пластин в деионизованной воде в первой и во второй ваннах каскада в течении 2-3 минут в каждой ванне. В третьей ванне каскада выдержать до снижения сопротивления сливной воды 3 Мом(см по прибору контроля сопротивления деионизованной воды.
4.16 Перенести кассету с пластинами на сушку пластин по ТВО 734 618 по окончании отмывки пластин.
4.17 Передать обработанные пластины в кассете на следующую операцию, заполнив сопроводительный лист.
4.18 Отключить по окончании работы нагреватели ванн, поставив тумблер блока управления НАГРЕВАТЕЛЬ в нижнее положение.
4.19 Слить серную кислоту и смесь Каро из рабочих ванн, открыв кран слива и предварительно охладив их до (80-50) 0С.
Перед сливом серной кислоты добавить в ванну 200 мл перекиси водорода.
4.20 Промыть рабочие ванны, находящиеся в них решетки и нагреватели, деионизованной водой из шланга.
4.21 Закрыть вентили слива и закрыть рабочие ванны крышками.
4.22 Протереть стол установки, крышки ванн салфеткой из мадаполама.
23 Отключить технологический блок. Проводить отмывку оснастки и ванн установки не реже одного раза в неделю. Разрешается одновременно обрабатывать по две кассеты с пластинами.

3. Контроль электрических параметров кристалла

1 Оборудование
. система измерительная Н2001 (“Интеграл”);
. зонд измерительный ОМ6010;

3.2 Алгоритм программы разбраковки
Алгоритм программы разбраковки кристаллов 564ИЕ10 приведен в табл. 4.

Список литературы

1. Технологический маршрут изготовления кристаллов 564ИЕ10.

.

Табл. 1.
|Наименование оборудования |Обозначение |Обозначение |
| | |документа |
|Система диффузионная многотрубчатая |ДЕМ1 055 009 |17.25001.00006 |
|СДОМ 3Л00 | | |
|Система автоматизированная |ДЕМ1 055 001 |17.25001.00042 |
|диффузионная АДС6-100 | | |

Табл. 2.
|Температура |Номер |Время, мин.|Наименование |Шифр |Расход газов л/час |Толщина |
|рабочей зоны |интервал| |временного |команд | |окисла, А |
|печи С0, (1 |а | |интервала | |О2 (30 N2 ( 30 | |
| | | | | |HCl* | |
| |1 |12(1 |Загрузка |9,13 |270 |- |- | |
| |2 |10(1 |Рабочий режим |9 |270 |- |- | |
| |3 |0.3(0.5 |Сигнализация |9,12 |270 |- |- | |
| |4 |90(40 |Рабочий режим |9 |270 |- |10-15 | |
|1000 |5 |0.3(0.5 |Сигнализация |9,12 |270 |- |10-15 |800(1100 А|
| |6 |10(90 |Рабочий режим |6 |- |300 |- | |
| |7 |12(1 |Выгрузка |6,14 |- |300 |- | |
| |8 |0.3(0.5 |Сигнализация |6,12 |- |300 |- | |
| |9 |Между |Продувка |9 |270 |- |- | |
| | |процессами | | | | | | |

Рис.3.
[pic]
Табл. 3.
|Наименование элементов |условное|тип |материал слоя |сопротивле|толщина |
|структуры |обозначе|пр-ти | |ние |слоя, |
| |ние | |наименование |слоя |глубина |
| | | |ГОСТ, ОСТ, ТУ |(s=Ом/( |диффузии |
| | | | | |мкм |
|защитный слой |Н1 |- |SiO2 термический |- |- |0.4(0.05 |
|диффузионный карман |Н2 |p |трехфтористый бор |ОСТ 6-02-4-83 |750-1500 |9(1.5 |
|n-канальнх транзисторов | | | | | | |
|защитный слой |Н3 |- |SiO2 термический |- |- |0.3(0.05 |
|области стока, истока |Н4 |p+ |трехфтористый бор |ОСТ 6-02-4-83 |(110 |1.7(0.5 |
|защитный слой |Н5 |- |SiO2 термический |- |- |0.4(0.05 |
|области стока, истока |Н6 |n+ |фосфор-хлор окись |ТУ-09-3537-85 |(40 |2(0.5 |
|защитный слой |Н7 |- |SiO2 термический |- |- |0.35(0.05|
|диэлектрик затвора |Н8 |- |SiO2 термический |- |- |0.1+0.01-|
| | | | | | |0.02 |
|контактные окна |- |- |- |- |- |- - - - -|
| | | | | | |- - |
|контактные площадки и |Н9 |- |заготовки 270х120х28 |Яе 0.021,157 ТУ |- |1.2(0.1 |
|проводники | | | | | | |
|защитный слой |Н10 |- |смесь газовая аргона с |ТУ6-02-1228-82 |- |0.8(0.1 |
| | | |моносиланом |ТУ6-74-632-86 |- |1.3(0.2 |
| | | |фоторезист ФП-383 | | | |

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: автомобили реферат доход реферат, конспект, мцыри сочинение.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки