Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

Вскрытие контактных площадок.

32. 8Я фотолитография.

Защита пластин фоторезистом.

33. Контроль ВАХ (пробивное напряжение, пороговое напряжение, прямое напряжение и др.).

34. Контроль электрических параметров.

35. Контроль внешнего вида.

1 Операция спецокисление

2.1.1 Оборудование.

. система диффузионная (см табл. 1)
. стол монтажный СМ-4 А2МО 238 001 ТУ
. реактор кварцевый (07-0397
. реактор кварцевый (07-0541
. крючок кварцевый (09-1067
. лодочка кварцевая (09-1216
. подставка (09-1215
. стаканчик СВ24/70 ГОСТ 25 336-82
. пинцет ПС 160х3.0 ТУ 64-1-37-78
. пинцет (09-1114
. часы электрические вторичные показывающие ВЧС2-М2ПВ-400-323К ТУ 25-67-
1503-82
. пластина кремния 7590592 10300 00022
. пластина кремния спутник 7590592 10300 00022
. водород хлористый сжиженный марки Э ТУ 6-01-4689387-42-90
. спирт этиловый ректификованный технический марки “Экстра” ГОСТ 18300-87
. кислород СТП ТВО 054 003-89
. азот СТП ТВО 054 003-89
. напальчники типа II вида Б№4 ТУ 38.106567-88
. салфетка из мадаполама (350х253) мм 7590592 10301 00043
. салфетка из батиста (150х150) мм 7590592 10301 00045
. пленка полиэтиленовая марки На, полотно, 0,040х1400, I сорт ГОСТ 10354-82

2.1.2 Подготовка рабочего места и организация трудового процесса.

2.1 Подготовку рабочего места и организацию трудового процесса проводить в соответствии с требованиями табл. 1.
2.2 Технологическую операцию осуществлять с соблюдением требований ТВО 045
954 ИОТ, 17.25351.00003 ИОТ, ТВО 045 829 ИОТ, ТВО 045 982 ИОТ.
2.3 Соблюдать требования производственной гигиены по СТП 17-001-90.
2.4 Параметры микроклимата должны соответствовать СТП 17-001-90:
(1000,10000; 22(2; 50(10).
2.5 Время межоперационного хранения пластин должно соответствовать требованиям СТП 17-097-88.
2.6 Проверить наличие вытяжной вентиляции на системе диффузионной, в специальном шкафу для хранения баллона перед началом работы с хлористым водородом. Производить работу с хлористым водородом при выключенной вентиляции запрещается. При отключении вентиляции немедленно закрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом.
2.7 Продуть кварцевый реактор, оснастку хлористым водородом с расходом(10-
15) л/час не менее 30 минут:

1) вначале первой смены;

2) после смены оснастки, трубы;

3) замены баллона с хлористым водородом;

4) если время между процессами превышает 24 часа, с последующей продувкой азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.
2.7.1 Перед включением хлористого водорода продуть линию подачи магистральным азотом не менее 10 минут с расходом согласно таблице 2.

2.7.1.1 Включить подачу азота, регулируя расход натекателем на ротаметре.

2.7.1.2 Открыть вентиль подачи азота на линию хлористого водорода

(вентиль с маркировкой “N2”).

2.7.1.3 Открыть вентиль с маркировкой, установить расход (10-15) л/час натекателем на ротаметре. Регулировать давление в магистрали при необходимости редуктором низкого давления .

2.7.1.4 Выключить продувку азотом, перекрыть вентиль с маркировкой

“N2”.
2.7.2 Выставить необходимый расход кислорода согласно табл. 2.
2.7.3 Открыть в вытяжном шкафу вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля против часовой стрелки.
2.7.4 Подать хлористый водород в систему, повернуть вентиль редуктора по часовой стрелке.
2.7.5 Проверить расход по ротаметру для подачи хлористого водорода в реактор.
2.7.6 Перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке, если расход хлористого водорода выходит за допустимые пределы и повторить переходы п.п. 7.1-7.1.4.
2.7.7 Если не устанавливается необходимый расход хлористого водорода при повторном включении п.п. 7.3-7.5, закрыть вентиль на баллоне, продуть систему азотом и сообщить об этом технологу, мастеру или начальному участка.

Категорически запрещается во время работы с хлористым водородом производить регулировку давления в линии с хлористым водородом.
2.8 Менять кварцевые реакторы при отрицательных результатах по напряжению отсечки, не реже одного раза в квартал.
2.9 Проводить контрольный процесс, выполняя требования технологической инструкции согласно табл. 1, после смены баллона с хлористым водородом, после смены оснастки реактора и перед каждым процессом, если время между процессами превышает 24 часа.
2.10 Проводить процесс без использования экранных пластин.
2.11 Проводить оценку контрольного процесса по напряжению отсечки согласно вольт-емкостных характеристик по ТВО 336 568 ТК, 17.60303.00002.
В случае отклонения от нормы напряжения отсечки, указанный в таблице 2, продуть реактор, оснастку хлористым водородом, провести повторно контрольный процесс, а при отрицательных результатах сменить реактор, оснастку.
2.12 Фильтры для очистки хлористого водорода заменять ежемесячно с отметкой о сроке замены и росписью наладчика в журнале.

2.1.3 Технологический процесс.

3.1 Провести технологический процесс, выполняя переходы технологических инструкций согласно табл. 2, в соответствии с требованиями таблицы режима соответствующего процесса. Во время процесса следить за расходом хлористого водорода, кислорода.
3.2 По окончании технологического процесса:

1) перекрыть вентиль на баллоне с хлористым водородом поворотом вентиля по часовой стрелке.

Рекомендуем скачать другие рефераты по теме: автомобили реферат доход реферат, конспект, мцыри сочинение.



Предыдущая страница реферата | 1  2  3  4  5  6  7 | Следующая страница реферата

Поделитесь этой записью или добавьте в закладки